用於(yu) 脈衝(chong) 激光諧振腔或激光加工裝置的西格瑪光機光學元件，要求即使射入能量非常高的光線，也要保持元件不至破損的特性。這時的定量化的能量數值被稱為(wei) 激光損傷(shang) 閾值。該閾值對於(yu) 挑選適用於(yu) 高能量激光係統的光學元件以及設計相關(guan) 光學係統至關(guan) 重要。

激光損傷(shang) 閾值的評估方法使用ISO21254國際標準中規定的S-on-1測試。

S-on-1

使用可以調節能量的脈衝(chong) 激光，和能夠以適當的能量密度照射檢測對象的裝置。

為(wei) 了可以改變照射位置將檢測對象裝載在XY軸位移台上，每次照射結束後改變位置。重複發射脈衝(chong) 激光，在同一部位照射S次激光脈衝(chong) 。

接著改變位置再次以相同能量照射S次。如此重複地使用相同能量照射檢測對象的10個(ge) 位置。

然後改變激光能量，同樣地在10處進行照射S次。在激光能量可以調節的範圍內(nei) 重複這個(ge) 操作。

使用150倍的顯微鏡觀察檢測對象的薄膜有無損傷(shang) 。

相對能量密度，在圖表中表示損傷(shang) 的出現率，從(cong) 出現率曲線求出臨(lin) 界（出現率為(wei) 0%和0%以上的分界線）的能量密度。將這個(ge) 數值定為(wei) 激光損傷(shang) 閾值。

照射回數和能量密度的照射位置關(guan) 係

關(guan) 於(yu) 激光損傷(shang) 閾值的注意點

激光損傷(shang) 的出現率隨能量密度的變化

·激光損傷(shang) 閾值隨所使用的激光波長，脈衝(chong) 寬，和重複頻率的不同而不同。請確認所使用的激光和測試條件是否一致。

·脈衝(chong) 激光有單模式（TEM00）激光和多模式激光。激光損傷(shang) 閾值使用TEM00激光進行測試。

多模式激光隨激光的模式不同，有時可能形成局部能量密度很高的部位（峰值）。對於(yu) 產(chan) 生峰值的多模式激光，即使射入低於(yu) 激光損傷(shang) 閾值的激光，有時也會(hui) 損傷(shang) 光學元件。

使用多模式激光時，如果光學元件頻繁損傷(shang) ，有可能是多模式諧振器的光學調節產(chan) 生了問題。這種情況時，請確認模式或者聯係激光生產(chan) 商。

·光學元件表麵有灰塵或有油汙時，即使有時是低能量密度下，光學元件也會(hui) 受到損傷(shang) 。使用高能量激光時，請務必清潔光學元件，在潔淨的狀態下使用。

·如果不在同一測試條件下評價(jia) 激光損傷(shang) 閾值的數值，將不能進行正確的比較。由於(yu) 每個(ge) 生產(chan) 商的測試條件都不同，僅(jin) 憑產(chan) 品目錄的激光損傷(shang) 閾值的數值不能判定光學元件的優(you) 劣。

西格瑪光機為(wei) 了使客戶能在安全條件下使用產(chan) 品，采用了嚴(yan) 格的測試條件。如果能夠在低於(yu) 激光損傷(shang) 閾值的條件下使用這些產(chan) 品，和用於(yu) 普通能量條件時相比，發生變質或曆時變化的狀況將不會(hui) 更壞。

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