把像激光這樣的周期很規則的光分成2束後重新合成到一起就會(hui) 觀測到幹涉現象。

這是一種波的疊加，它會(hui) 出現波峰和波峰，或波穀和波穀的重疊，而導致周期性的明暗條紋。

這個(ge) 幹涉條紋，實際顯示的是兩(liang) 束光的光程差。條紋的周期反映了一個(ge) 波長長度（折返光路是其1半）的相位差。但是，不能根據幹涉條紋識別波長整倍數部分的差異，所以實際觀測到的是小於(yu) 波長整倍數部分的相位差，或連續的相位變化。

選用He-Ne激光作為(wei) 光源時，其波長為(wei) 632.8mm，在折返式幹涉儀(yi) 中，一個(ge) 條紋僅(jin) 相當於(yu) 約0.3微米。所以，應用幹涉原理，可以測量微小的位移，或變形。

幹涉儀(yi) 的感度好，容易得到高精度的測量結果。但同時，也容易受到振動，或空氣擾動等的影響。因此，幹涉實驗裝置通常會(hui) 設置在防振平台上，並置於(yu) 暗室之中的。

用幹涉儀(yi) 測量麵精度時，在光路的一側(ce) 放置被測樣品，讓被測麵的反射波麵和另一個(ge) 來自基準麵的波麵疊加。

這樣，我就會(hui) 得到一個(ge) 反映了被測麵形狀的彎曲的幹涉條紋。

我們(men) 可從(cong) 此幹涉條紋的彎曲程度推測出被測麵的麵精度。