西格瑪光機邁克爾遜幹涉儀(yi) IFS2-MI-25是測試樣品麵精度的，常用的幹涉儀(yi) 之一，利用反射鏡的2個(ge) 垂直光路構造是其大的特點，幹涉條紋反映了2個(ge) 反射鏡鏡麵形狀的差異。

邁克爾遜幹涉儀(yi) 組件及原理圖

邁克爾遜幹涉儀(yi) 光學組成部件：