傾(qing) 斜滑台

傾(qing) 斜滑台是用於(yu) 光學元件或樣品的調整滑台，它具有2個(ge) 或3個(ge) 調整自由度。

西格瑪光機的傾(qing) 斜滑台由兩(liang) 塊板麵構成，由三個(ge) 點支持上板，其中以一點作為(wei) 支點進行傾(qing) 斜調整。

·調整鈕型

沒有刻度，適合簡單的調整的情況。

·微分頭型·精密調節螺杆型

可進行精密調節。例如，西格瑪光機AIS係列αβ軸傾(qing) 斜滑台可以提供±2°的傾(qing) 斜調節範圍。

多軸滑台

多軸滑台可實現多個(ge) 方向的旋轉調整，從(cong) 而對齊光學組件。

例如，西格瑪光機TSD係列XYZθ軸TSD直動平台，可以實現4個(ge) 方向的調整。

X軸在水平方向上的行程為(wei) ±12.5mm，Z軸在垂直方向上的行程為(wei) ±10mm，θ軸可以進行旋轉方向的調整，粗調範圍為(wei) 360°，微調範圍為(wei) ±5°。

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