西格瑪光機NFS-PX 10nm分辨率閉環控製平台

2024-06-18 10:34| 發布者: | 查看: |

NFS-PX 10nm分辨率閉環控製平台是一款使用5相步進電機驅動的高分辨率閉環控製平台,經CE和UKCA認證。

NFS-PX 10nm分辨率閉環控製平台內(nei) 置光柵尺,具有高重複定位精度和高分辨率,有8台麵尺寸可供選,滿足不同需求。

細節:

·由於(yu) 采用滾珠絲(si) 杠驅動,與(yu) 壓電平台相比,可移動距離較長,有各種行程和台麵尺寸可供選擇。

·實現了基於(yu) AutoConfig功能的平台分辨率自動識別,極大地提升了可用性。

·提供NFS係列閉環控製平台用控製器SHRC-203。

注意:

·請在溫度變化幅度不大的環境中使用。(推薦:23±1℃)

·請盡量在振動較小的環境中使用,或采取一定的防振措施。

·請在沒有油霧的環境中使用,因光柵尺如果被汙染的話可能會(hui) 產(chan) 生誤差。

·如需安裝大於(yu) 台麵尺寸的工件,請向我們(men) 谘詢。

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加拿大官网开奖号码2004年成立至今,作為(wei) 專(zhuan) 業(ye) 的光機電產(chan) 品和技術服務提供商,加拿大28官方开奖链接長期致力於(yu) 將國際上先進的1nm分辨率閉環控製平台技術及研究方法介紹引進到中國;專(zhuan) 注為(wei) 中國的光學電子/微電子/激光應用/生物/醫藥/物理、光學研究機構/計量檢測機構/機械加工用戶提供高品質的1nm分辨率閉環控製平台和技術服務。


 
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