2025-02-07 09:47| 發布者: | 查看: |
西格瑪光機NFS係列閉環控製平台是西格瑪光機針對高精度定位需求而開發的納米級自動平台。 NFS係列平台基於(yu) 5相步進電機驅動,采用閉環控製係統,結合內(nei) 置的高分辨率光柵尺(分辨率可選10nm或50nm),實現亞(ya) 微米級定位精度。產(chan) 品通過CE和UKCA認證,配合專(zhuan) 用控製器SHRC-203,確保在複雜環境下的可靠性與(yu) 重複性。 1. 核心技術特點 高精度閉環控製 通過光柵尺實時反饋位置信息,結合控製器SHRC-203,實現重複定位精度±0.5μm,微小範圍雙方向重複定位精度達±20nm,滿足超精密定位需求。 滾珠絲(si) 杠驅動與(yu) 長行程設計 NFS係列采用滾珠絲(si) 杠驅動,支持20mm至300mm的多樣化行程,適用於(yu) 大範圍移動場景。導程精度達1-2mm,絲(si) 杠直徑覆蓋φ4mm至φ10mm,兼顧負載能力與(yu) 運動平穩性。 AutoConfig智能識別功能 自動檢測平台分辨率並優(you) 化參數配置,簡化用戶操作流程,提升設備兼容性。 多樣化型號與(yu) 配置 提供8種台麵尺寸(75×60mm至330×180mm),支持不同負載需求(5kgf至20kgf),並可選配LM導軌或十字交叉滾柱導軌,適應水平、垂直或倒置安裝。 2. 應用領域 光學係統:用於(yu) 激光加工、光譜分析、幹涉測量中的元件定位與(yu) 調整。 半導體(ti) 製造:支持晶圓檢測、光刻工藝中的高精度對位與(yu) 微動控製。 科研實驗:適用於(yu) 生物醫學顯微操作、物理光學實驗及精密計量檢測。 工業(ye) 自動化:集成於(yu) 自動化設備中,執行精密裝配、打標或檢測任務。 3. 使用環境與(yu) 注意事項 環境要求:推薦溫度23±1℃,濕度30%-80%(非結露),需避免振動、油霧及灰塵汙染。 安裝規範:安裝麵平行度需小於(yu) 0.02mm,防止外力導致平台變形;負載安裝需匹配台麵尺寸,超限需定製方案。 維護建議:定期補充潤滑油脂,長期停用需防鏽處理,以延長設計壽命(直線平台約2000-3000小時)。 4. 配套與(yu) 技術支持 專(zhuan) 用控製器SHRC-203:支持LabVIEW等開發環境,提供多軸聯動控製與(yu) 編程接口。 質量保障:采用三坐標測量儀(yi) 、激光幹涉儀(yi) 等檢測設備,確保出廠精度符合ISO標準。 定製服務:支持非標行程、特殊負載及環境適應性設計,滿足個(ge) 性化需求。 更多產(chan) 品詳細信息>>>芬創商城 加拿大官网开奖号码2004年成立至今,作為(wei) 專(zhuan) 業(ye) 的光機電產(chan) 品和技術服務提供商,加拿大28官方开奖链接長期致力於(yu) 將國際上先進的閉環控製平台及研究方法介紹引進到中國;專(zhuan) 注為(wei) 中國的光學電子/微電子/激光應用/生物/醫藥/物理、光學研究機構/計量檢測機構/機械加工用戶提供高品質的閉環控製平台和技術服務。 |