2022-05-26 11:06| 發布者: | 查看: |
無掩模光刻，一般根據CAD數據進行直描加工，根據掃描方法不同，可分為(wei) 掃描光學係統和聚光光學係統。（也有兩(liang) 者結合的混合型）
掃描光學係統
聚光光學係統
掃描方法
振鏡掃描
平台掃描
掃描速度
高速
低速
掃描區域
小
大
聚光方法
fθ透鏡
物鏡
光斑尺寸
數10μ 〜 數100μ
亞(ya) 微米 〜 數10μ
焦點深度
掃描係統
聚光係統（附觀察係統）
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