一、真空包裝技術

西格瑪光機的真空用支柱底板零部件在超淨環境下完成裝配，在超淨組裝車間進行裝配，並在超淨包裝車間完成最後包裝。與(yu) 普通產(chan) 品不同，這些零部件采用特殊包裝方法，使用鋁袋和真空袋抽真空包裝，確保在高真空環境下使用時不容易發生質量劣化問題。

注意：此類產(chan) 品的開封最好在超淨間或真空裝置附近進行，開封後也應避免暴露在常規室內(nei) 環境下太久時間，以防止質量劣化。

二、出氣量評估與(yu) 測試

為(wei) 了確保產(chan) 品質量，西格瑪光機使用組裝完成的產(chan) 品實施了在真空腔內(nei) 的放氣實驗評估。下麵的例子是使用電導調製法（conductance modulation method）測試的真空用鏡架（VMHG-50.8）的出氣情況。

電導調製法是通過測量真空裝置的電導值變化，評估排氣量或真空度的一種方法。常被用於(yu) 測量評估出氣量隨時間的變化情況，或進行不同產(chan) 品的出氣特性的比較實驗。

出氣量隨排氣時間的變化

三、測試裝置與(yu) 質量分析

測試過程中，西格瑪光機使用先進的測試裝置，選用了渦輪分子泵 STP-301（製造商為(wei) 精工精機，現：Edwards），排氣速度可達 300 ℓ/s。同時，還配備了四極質譜分析儀(yi) M-201QA-TDM（製造商為(wei) Canon ANELVA Corporation），原子質量數範圍為(wei) 1~200，用於(yu) 分析質量成分比。

質量成分比

西格瑪光機的真空用支柱底板零部件產(chan) 品通過嚴(yan) 格的生產(chan) 工藝、特殊的包裝方法和先進的檢測手段，確認設計生產(chan) 工藝的合理性和正確性。

注意：產(chan) 品出貨時並不附帶類似的檢驗報告。如果您需要此類數據報告，請和我們(men) 聯係。此類數據原則上有償(chang) 提供。