麵型精度保證反射鏡又名麵精度反射鏡，其主要材質為(wei) 合成石英，是多層電介質膜反射鏡，入射角度在45°±3°，鍍膜後的麵型保證精度可以達到λ/10。下麵為(wei) 大家介紹一款西格瑪光機HTFM麵型精度保證反射鏡，采用優(you) 化的基板材質，厚度和鍍膜條件，是高麵型精度的反射鏡。

西格瑪光機HTFM麵型精度保證反射鏡的特性，主要包括以下幾個(ge) 方麵：

<1>麵型精度（鍍膜後）比以往的多層電介質膜平麵反射鏡（TFM）更高。

<2>由於(yu) 使用合成石英基板，基板變厚，基板的剛性也提高了。

<3>適用於(yu) 紫外激光或YAG激光各波長的高反射率反射鏡，已有係列產(chan) 品。

<4>也備有在支架上粘接反射鏡，保證麵型精度的HTFM-MHG。

<5>承接製造產(chan) 品目錄之外的其他尺寸或波長特性的反射鏡。

西格瑪光機HTFM麵型精度保證反射鏡在使用的過程中需要注意：

·用於(yu) 45°以外的入射角度時，反射率有可能降低。

·在設計波長以外的波長譜區使用時，反射率有可能降低。

·技術指標的反射率是用P偏光和S偏光的反射率的平均值來表示的。

·多層電解質膜的反射率波長特性隨入射光束的偏光狀態變化。P偏光與(yu) S偏光相比，反射率變低，反射帶譜區變窄。

·產(chan) 品中不附有保證麵型精度數據。需要保證麵型精度數據文件時，需要額外文件製作費用。

西格瑪光機HTFM麵型精度保證反射鏡，主要適用於(yu) 六個(ge) 波段：248nm，266nm，308nm，355nm，532nm，1064nm，其反射率可達99.2%-99.5%，標準型號直徑有φ12.7mm，φ25.4mm，φ30mm，φ50mm，φ50.8mm可選；厚度8-11mm，激光損傷(shang) 閾值根據波長的不同在2-20J/cm2；平行度＜3′，表麵質量10-5，有效直徑為(wei) 外徑的80%，反麵為(wei) 拋光麵。

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