HST(GS)-X內(nei) 置光柵尺自動平台係統是由作為(wei) 位置基準（刻度）的光柵尺，和解讀其刻度獲得位置信息的信號處理部組成的自動平台係統。

HST(GS)-X內(nei) 置光柵尺自動平台係統適用於(yu) 要求亞(ya) 微米量級的準確定位，或者存在溫度變化時的長時間驅動等場合。

細節：

·配合使用好光柵尺的反饋信號和細分驅動功能，可以極大地減少絲(si) 杠導程誤差的影響。

·采用了線膨脹係數小的光柵尺，受周圍溫度環境的影響小，可靠性好，定位精度高。

·光柵尺的理論分辨率為(wei) 0.05μm。

注意：

·為(wei) 了保證樣本所示的技術指標，能閉環控製HST(GS)係列平台，推薦將細分數設定為(wei) 大於(yu) 100(1個(ge) 脈衝(chong) 的位移小於(yu) 0.05μm)的數值。

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